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	　　刻蝕（ET）：LAM　9400、9600
    

    
	 
    

    
	　　AMAT　CENTURA　II＆I
    

    
	 
    

    
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	　　EATON（axcelis）
    

    
	 
    

    
	　　NISSIN
    

    
	 
    

    
	　　AMAT　PI9500　9200
    

    
	 
    

    
	　　光刻（PH）：NIKON　NSR
    

    
	 
    

    
	　　ASML　5500
    

    
	 
    

    
	　　太陽能光伏PECVD：centrotherm（管式鍍膜）Roth＆Rau（平板式鍍膜德國）
    
				
    
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